自动调平空气弹簧隔振器科磊(KLA)半导体设备的结构基本原理

一、解读空气弹簧真空阀构造的基本概念

（1.油道板2.进气口3.排气口4.电缆5.齿轮泵）

真空阀在弹簧的效果下没有插上去时间差压力阀，阀针在弹簧的效果下塞住了油道板出口，真空阀处于断掉状况-关闭状况。磁铁线圈导致带磁空气弹簧运用场所，阀心处理弹簧力上升，阀内出口打开，真空阀处于关闭状况。

弹簧真空阀一般分为匀速直线运动型、伺服电机匀速直线运动型和参与型三大类。

从详解、基本概念和特点三个层级进行归纳。

1、直动式电磁阀

详解：有常开常闭和开闭试三种。常闭型在开关电源关闭时处于关闭状况。接入磁铁线圈时，导致磁场力，使动的变压器线圈处理弹簧力，消化变压器线圈的响声，立即打开截止阀空气弹簧运用场所，原料有山；在作用下校正，闸阀立刻关闭，化合物被堵塞。结构简单，姿势可靠，在零压力差和微型气泵下正常的工作中。开和关是反过来的。如流路低于φ6的真空阀。

自动调平空气弹簧隔振器科磊(KLA)半导体设备的结构基本原理

规范：常闭型插上去时，磁铁线圈造成的磁场力将开启片从液压阀块上提及，截止阀开启；关闭电源时，磁场力减弱，弹簧按着高压闸阀上的开启片空气弹簧运用场所，截止阀打开。（开启和关闭大量）

特点：可在机械泵、负压力、零压下正常的工作中，但直径一般不超过25mm。